特種行業專用檢測儀

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太陽能硅片檢測顯微鏡DJM-300C

DJM-300系列太陽能硅片檢測顯微鏡,選用優質的光學元件,配有超大視場目鏡、落射照明器、平場長工作距離明暗場物鏡,是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業、電子信息產業、治金工業開發的,作為工業金相顯微鏡使用。

詳細介紹 技術參數

 太陽能硅片檢測顯微鏡DJM-300C
一、DJM-300C太陽能硅片檢測顯微鏡的特點和用途: 
          DJM-300系列太陽能硅片檢測顯微鏡,選用優質的光學元件,配有超大視場目鏡、落射照明器、平場長工作距離明暗場物鏡,是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業、電子信息產業、治金工業開發的,作為高級工業金相顯微鏡使用??蛇M行明暗場觀察、落射偏光、廣泛用于工廠、研究機構、高等院校對太陽能電池硅片、半導體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。系統配置了優質無限遠光路系統、三目透反射顯微鏡DJM-300C、500萬高清晰數字攝像頭及圖像測量管理軟件,可對太陽能電池板圖像進行檢查、拍照、測量、編輯和保存輸出等多種操作。是太陽能電池硅片檢查的理想儀器。

性能特點:

1、采用了較先進的光學顯微鏡與現代成像分析融為一體的圖像測量技術。

2、可對太陽能電池硅片進行檢查、拍照、測量、保存、輸出等多種操作。

3、系統配置了優質無限遠光路系統、大尺寸工作臺的三目透反射顯微鏡

4、可以測量太陽能電池片裂紋長度,崩邊長度角度,印刷位移角度偏差

5、可以測量主、副柵線,背電極的寬度、均勻度、柵線間距離及副柵線

   到電池邊的距離,柵線、斷線長度,斷線缺損和變色的面積

6、可以檢查太陽能電池表面顏色色差、絨面色斑亮斑,裂紋,崩邊,掉

   角缺口,印刷偏移主副柵線、背電極的斷線,缺損,扭曲,變色等現象。

7、可對雜質、殘留物成分進行分析。雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜

   質、金屬離子、硅粉粉塵等。





。

 

二、太陽能硅片檢測顯微鏡DJM-300C的技術參數:

型號

技術規格

目鏡筒

鉸鏈式三目鏡,傾斜30?,內置檢偏振片,可進行切換 ;瞳距調節范圍 55-75mm,屈光度±5可調。

目鏡

WF10X(Φ22mm)

物鏡

無限遠長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL 5X/0.12            工作距離:26.3mm

無限遠長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL L10X/0.25          工作距離:20.2mm

無限遠長距平場消色差物鏡(無蓋玻片) PL L40X/0.60(彈簧) 工作距離:3.98 mm

無限遠長距平場消色差物鏡(無蓋玻片) PL L60X/0.70(彈簧) 工作距離:3.18 mm

無限遠長距平場消色差物鏡(無蓋玻片) PL L100X/0.85(彈簧) 工作距離:0.40 mm

落射照明系統

6V 30W鹵素燈,亮度可調

落射照明器帶 (黃,藍,綠)濾色片和磨砂玻璃

視場光欄和孔徑光欄大小可調節,可插入式起偏振片,可進行偏光觀察和攝影

透射照明系統

阿貝聚光鏡  NA.1.25  可上下升降 。藍濾色片和磨砂玻璃 

集光器,鹵素燈照明適用(內置視場光欄) ,6V 30W 鹵素燈,亮度可調

調焦機構

粗微動同軸調焦, 微動格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置

轉換器

五孔(內向式滾珠內定位)

載物臺

雙層機械移動式(尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm)

電腦攝像系統

 

1X攝影接口,標準C接口,

CK-500數字攝像系統,分辨率:2592X1944, 芯片尺寸:1/2.5", USB2.0連接,  圖像質量好 ,色彩還原性好 ,圖像穩定,有多種圖像處理方式(詳細參數見CK-500攝像機介紹) 

測量軟件功能:

1、可進行圖像尺寸、亮度、增益、曝光、RGB顏色等多種處理方法。

2、當前圖像放大、縮小、剪切、背景等設置。

3、對圖像中的點、線、圓、圓弧、角度、矩形及任何圖形幾何參數的測量。測量工具使用方便直觀。是顯微圖像測量與分析的有效工具。


三、系統的組成  


1、太陽能硅片檢測顯微鏡DJM-300       2、電腦適配鏡 

3、彩色數字攝像機CK-500            4、計算機(選購)  

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