特種行業專用檢測儀

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太陽能硅板檢測儀DJM-200C

晶圓檢測儀,多晶硅缺陷分析儀,太陽能硅板檢測儀,太陽能光伏單晶硅片缺陷分析? 蔡康晶圓檢測儀,多晶硅缺陷分析儀,太陽能硅板檢測儀DJM-200C概述和硅片缺陷檢測方法和應用范圍:

詳細介紹 技術參數

     蔡康晶圓硅片缺陷觀測儀(DJM-200C),于對硅片的缺陷進行觀察,效果非常明顯,包括肉眼無法觀測的位錯、層錯、劃痕、崩邊等。

     光伏硅片質量檢測,有很多項目,比如:破片、缺角、孔洞和翹曲等等。為什么會有這些檢測項目?有些項目很容易理解,比如:破片、缺角等不僅會影響賣相,還會造成后續電池片生產的問題,甚至影響轉換效率。但孔洞,尤其是很小很小的孔洞,似乎沒什么大不了。其實不然,新的研究表明,小小的孔會造成大大的問題。就好像千里之堤,毀于蟻穴。 

晶圓檢測儀,多晶硅缺陷分析儀,太陽能硅板檢測儀,太陽能光伏單晶硅片缺陷分析


一:蔡康晶圓檢測儀,多晶硅缺陷分析儀,太陽能硅板檢測儀DJM-200C概述和硅片缺陷檢測方法和應用范圍:

(一)光伏硅片質量檢測中,有很多項目,比如:破片、缺角、孔洞和翹曲等等。為什么會有這些檢測項目?有些項目很容易理解,比如:破片、缺角等不僅會影響賣相,還會造成后續電池片生產的問題,甚至影響轉換效率。但孔洞,尤其是很小很小的孔洞,似乎沒什么大不了。其實不然,最新的研究表明,小小的孔會造成大大的問題。就好像千里之堤,毀于蟻穴。 
  1.孔洞:大量存在,3~10um,人眼不易發現。必須用背光源。 
  孔洞的危害:經研究發現***,硅晶片上孔洞會造成加工成電池片的短路,降低電池片的轉換效率;如果因為硅片上的孔洞形成的短路塊剛好落在柵線上,就會造成大面積的短路,加大電池片的漏電流,影響轉換效率。所以必須檢測孔洞,一般人眼能分辨0.3mm以上的孔洞,0.003~0.01mm的孔洞只能借助與光學的檢測手段來實現。檢測時需采用高亮度的白色背光源,穿透力強的光經過孔洞后,部分頻率的分量會使相機感光,形成藍綠色的成像。相機的像素分辨率需要做得很高,比如一個像素等于0.005mm,這樣有機會捕捉到3um~10um孔透過的光,并由軟件識別。 
  2.硅片翹曲或彎曲:不能忽視。硅片翹曲不僅使得做成電池片后尺寸不合乎要求,而且還會造成斷柵。 
  研究表明:因為硅片翹曲,做成電池片后,通過EL檢測,發現里面有絲狀裂紋或花斑,但做成模組后,花斑情況有改善。分析表明,因為電池片翹曲(根源上是硅片翹曲),在絲印時會造成印刷不均勻,形成斷柵。 
  硅片的翹曲需要采用3D的檢測方法,具體表征硅片翹曲的指標有TTV、MTV等等。檢測的方法可以采用將結構光(線激光)投射到硅片上,用相機進行拍照;通過軟件分析光線成像的幾何特征,可以計算出TTV、MTV等指標,跟標準值進行比對,可以得出硅片翹曲是否在可以接受的范圍。 
  以上兩點,是最新的研究發現。如果檢測不到位,“后果很嚴重”。電池片廠家在來料檢測上,不可不注意。 
  產品介紹: 
  蔡康晶圓硅片缺陷觀測儀(DJM-200C),于對硅片的缺陷進行觀察,效果非常明顯,包括肉眼無法觀測的位錯、層錯、劃痕、崩邊等。 
  實時對圖像進行分析、測量和統計,提高傳統光學儀器的使用內涵。配合投影儀和計算機等顯示、存儲設備,能更好的觀測和保存研究結果; 
  硅片缺陷觀測儀-產品特點 
  ■適用于對硅片的缺陷觀察效果,非常明顯,包括肉眼無法觀測的位錯、層錯、劃痕、崩邊等; 
  ■使硅片缺陷觀察工作簡單化,準確化,同時極大程度降低此項工作強度; 
  ■實時對圖像進行分析、測量和統計,提高傳統光學儀器的使用內涵。配合投影儀和計算機等顯示、存儲設備,能更好的觀測和保存研究結果; 
  ■使用 數字CCD攝像機 感光芯片,具有體積小,技術先進,像素較高,成像清晰、線條細膩、色彩豐富; 
  ■傳輸接口為 USB2.0高速接口,軟件模塊化設計; 
  ■有效分辨率為 1000萬像素; 
  ■所配軟件能兼容 windows 7和 windows XP 操作系統。
 
(三)蔡康太陽能光伏單晶硅片缺陷分析儀技術介紹和儀器組成

   一、大平臺太陽能硅片缺陷分析金相顯微鏡儀器的主要用途和特點
       DJM-200C系列反射明暗場
大平臺太陽能硅片缺陷分析金相顯微鏡可進行明視場、暗視場、簡易偏光觀察。是半導體檢驗、電路封狀、電路基板、材料等行業理想儀器。 DMM-990大平臺晶圓缺陷分析金相顯微鏡具有圖像清晰、襯度好,造型美觀,操作方便等特點,是材料學、金屬學、礦物學、精密工程學、電子學等研究的理想儀器。適用于學校、科研、工廠等部門使用。 DMM-990高級正置金相顯微鏡,選用優質的光學元件,配有超大視場目鏡、落射照明器、平場長工作距離明暗場物鏡,是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業、電子信息產業、治金工業開發的,作為高級工業金相顯微鏡使用??蛇M行明暗場觀察、落射偏光、廣泛用于工廠、研究機構、高等院校對太陽能電池硅片、半導體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。
性能特點 
▲      配置大視野目鏡和長距平場消色差物鏡(無蓋玻片),視場大而清晰。 
▲      粗微動同軸調焦機構,粗動松緊可調,帶限位鎖緊裝置,微動格值:0.8μm。
▲      配置大移動范圍栽物臺,移動范圍:8英寸*8英寸(204mm*204mm)。 
▲      三目鏡筒,可自由切換正常觀察與偏光觀察,明視場/,可進行100%透光攝影。
▲      6V30W鹵素燈,亮度可調。 
   DMM-990C電腦型三目正置
大平臺單晶硅缺陷分析儀金相顯微鏡是將精銳的光學顯微鏡技術、先進的光電轉換技術、尖端的計算機成像技術完美地結合在一起而開發研制成功的一項高科技產品。既可人工觀察金相圖像,又可以在數碼相機顯示器上很方便地適時觀察金相圖像,并可隨時捕捉記錄金相圖片,從而對金相圖譜進行分析,評級等,還可以保存或打印出高像素金相照片。

太陽能光伏單晶硅片缺陷分析儀DJM-200C

(二)蔡康硅片缺陷分析儀DJM-200C性能特點和系統組成:

1. 蔡康單晶硅缺陷分析儀DJM-200C利用工業級彩色高速攝象器進行圖像或者視頻采集,高倍蔡康光學單晶硅片顯微鏡放大成像,圖像快速顯示于計算機,直接實時觀察熔深焊接形貌,利用專用軟件進行熔深測量處理,形態統計分析,并打印出熔深分析報告。


 

型號

技術參數

目鏡

WF10X(Φ18mm)

物鏡

長距平場消色差物鏡(明視場)(無蓋玻片)PL 5X/0.12                 WD:18.3mm

長距平場消色差物鏡(明視場/暗視場)(無蓋玻片)PL L10X/0.25         WD:8.9mm

長距平場消色差物鏡(明視場/暗視場)(無蓋玻片)PL L20X/0.40         WD:8.7mm

長距平場消色差物鏡(明視場/暗視場)(無蓋玻片)PL L40X/0.60         WD:0.26mm

目鏡筒

三目鏡,傾斜30?

落射照明系統

6V 30W鹵素燈,亮度可調

落射照明器帶視場光欄、孔徑光欄、起偏振片,(,,)濾色片和磨砂玻璃

調焦機構

載物臺升降,粗微動同軸調焦機構,粗動松緊可調,帶限位鎖緊裝置,微動格值:0.8μm

轉換器

四孔(外向式滾珠內定位)

載物臺

三層機械移動式(尺寸:280mmX270mm,移動范圍:204mmX204mm)

2、系統組成:


1.硅片缺陷分析儀DJM-200  

2.電腦適配鏡

3.數字彩色攝像機
4.單晶硅片分析測量系統
5.計算機(選購)



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